1 简介

真空泵是一种旋转式变容(rong)真空泵须有前级泵配合(he)方可(ke)使用(yong)在较(jiao)宽的压力范(fan)围内有较(jiao)大的抽速对被(bei)抽除气体(ti)中含有灰尘和水蒸汽不(bu)敏感广(guang)泛用(yong)于冶(ye)金、化工、食品、电子镀(du)膜等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较(jiao)宽的压力范围(wei)内有较(jiao)大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间(jian)及(ji)转子和壳体间(jian)均有间(jian)隙，不用(yong)润(run)滑，摩擦损(sun)失小，可大(da)大(da)降低驱动功率，从而可实现较高(gao)转速；

(3)泵腔(qiang)内无需(xu)用油(you)密封和(he)润(run)滑(hua)，可减少油(you)蒸气对真空系统的(de)污染；

(4)泵腔内无(wu)压缩，无(wu)排(pai)气阀。结构简单、紧凑(cou)，对被抽气体中的(de)灰尘和水(shui)蒸(zheng)汽不敏感；

(5)压缩(suo)比较低，对(dui)氢(qing)气抽(chou)气效果(guo)差；

(6)转(zhuan)子表面(mian)为(wei)形状较(jiao)为(wei)复杂(za)的曲线柱面(mian)，加工和检查(cha)比较(jiao)困难(nan)。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真(zhen)空泵的泵体的布置(zhi)结(jie)构决定(ding)了泵的总体结(jie)构。

立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接(jie)管路都(dou)比较(jiao)方便(bian)。但泵的重(zhong)心(xin)较(jiao)高(gao)，在高(gao)速运转时(shi)稳(wen)定性差，故这种型式多用(yong)于小泵。

卧(wo)式泵(beng)(beng)的进气口(kou)(kou)在(zai)上，排(pai)气口(kou)(kou)在(zai)下。有时(shi)为了真(zhen)空系统管(guan)道安装连接方(fang)便，可将排(pai)气口(kou)(kou)从水平(ping)方(fang)向(xiang)接出(chu)，即进、排(pai)气方(fang)向(xiang)是相互垂直的。此(ci)时(shi)，排(pai)气口(kou)(kou)可以(yi)从左或(huo)右两个方(fang)向(xiang)开口(kou)(kou)，除接排(pai)气管(guan)道一端外，另(ling)一端堵死或(huo)接旁通阀。这种泵(beng)(beng)结构(gou)重心低，高速(su)运(yun)转时(shi)稳(wen)定性好。一般大、中型(xing)泵(beng)(beng)多采用此(ci)种结构(gou)。

泵(beng)的两个(ge)转子(zi)轴与(yu)水平面(mian)(mian)垂直安装(zhuang)。这种结构(gou)(gou)装(zhuang)配间隙容易控制，转子(zi)装(zhuang)配方便，泵(beng)占地(di)面(mian)(mian)积小。但泵(beng)重心较高且齿轮拆装(zhuang)不(bu)便，润(run)滑机构(gou)(gou)也相对复(fu)杂。

（2） 泵的传(chuan)动方式(shi)

真空泵(beng)的(de)(de)(de)两(liang)个转子(zi)是通过(guo)一对高精(jing)度(du)(du)齿(chi)轮(lun)来实现其相对同步运转的(de)(de)(de)。主(zhu)动轴(zhou)(zhou)通过(guo)联轴(zhou)(zhou)器(qi)与电(dian)(dian)机联接。在传动结构布(bu)置上(shang)主(zhu)要有(you)以下两(liang)种(zhong)：其一是电(dian)(dian)动机与齿(chi)轮(lun)放在转子(zi)的(de)(de)(de)同一侧(ce)如图。从动转子(zi)由电(dian)(dian)动机端齿(chi)轮(lun)直接传过(guo)去带动，这样主(zhu)动转子(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转变形小，则两(liang)个转子(zi)之间(jian)的(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)不(bu)会因(yin)主(zhu)动轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转变形大而改(gai)变，故使转子(zi)之间(jian)的(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)在运转过(guo)程中均匀(yun)(yun)。这种(zhong)传动方式的(de)(de)(de)最大缺点是：a.主(zhu)动轴(zhou)(zhou)上(shang)有(you)三个轴(zhou)(zhou)承，增加了泵(beng)的(de)(de)(de)加工和(he)装(zhuang)配难度(du)(du)，齿(chi)轮(lun)的(de)(de)(de)拆装(zhuang)及调整也不(bu)便；b.整体结构不(bu)匀(yun)(yun)称，泵(beng)的(de)(de)(de)重心偏向电(dian)(dian)动机和(he)齿(chi)轮(lun)箱一侧(ce)。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个重(zhong)要参数，是反应泵(beng)抽(chou)气(qi)能力的(de)(de)(de)特(te)性(xing)值，是与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相(xiang)关的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个数值，不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有(you)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)“极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是理论研究(jiu)时(shi)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个概念，是排除各种实际因(yin)素的(de)(de)(de)影响(xiang)而提炼出的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)种最理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状(zhuang)态(tai)。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器经(jing)充分抽(chou)气(qi)后(hou)，稳定在(zai)某一(yi)(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为(wei)极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器须(xu)经(jing)12小时(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)(yi)(yi)个小时(shi)每隔10分钟测量(liang)一(yi)(yi)(yi)次，取其10次的(de)(de)(de)平(ping)均值为(wei)极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。